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地震問台積電 半導體微影設備精密程度連1,000公里外的地震都感應得到

ASML DUV EUV 微影設備 艾司摩爾 地震儀
地震問台積電 半導體微影設備精密程度連1,000公里外的地震都感應得到

ASML(艾司摩爾)的晶片微影設備非常精密且敏感,就連1,000公里外的地震都感應得到,圖為2020年12月ASML第100台EUV出貨。(圖/ASML臉書)

台灣靠著護國神山台積電的先進製程為台灣在世界半導體行業樹立不可撼動的領先地位與重要性,其中靠的關鍵設備就是來自荷蘭ASML(艾司摩爾)的晶片微影設備,這些微影設備精密而且敏感,就連1,000多公里外的地震也可以偵測到。

艾司摩爾微影設備的精密及敏感程度,可以堪比是國家氣象局的地震儀同等級,根據艾司摩爾表示,位於艾司摩爾荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven)市的總部微影設備,可以偵測到發生在克羅埃西亞(Croatia)的地震,從飛行的直線距離來看,克羅埃西亞與費爾德霍芬市,兩地相差超過1,000公里的距離。

艾司摩爾指出,當時克羅埃西亞地震發生的6分鐘後,所有在費爾德霍芬市的深紫外光(DUV)設備原型,其Metroframe Airmounts模組都在同一個時間回報失衡的狀況,這個反應速度和荷蘭氣象局的地震儀相同。

相同全球10大半導體廠皆為艾司摩爾的客戶,以台積電為例,台積電目前擁有艾司摩爾總量一半的極紫外光(EUV)曝光機。2021年艾司摩爾EUV設備出貨量預估至少為40台,其中台積電包下15台至20台,是最大客戶。

EUV與DUV最大的差別在於光源波長,EUV是DUV的15分之1。2020年12月艾司摩爾第100台EUV微影設備從荷蘭出貨。

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