陸半導體設備「國產化率突破35%」遠超預期

中國大陸推動半導體製造設備自給自足的進程遠超預期，截至2025年底，國產半導體設備的佔比已達到35%，較2024年的25%大幅提升。

據《南華早報》援引《界面新聞》的報導，這一比例甚至高於北京在2025年初設定的30%目標。當時的目標旨在鼓勵中國半導體產業在設備採購上優先選擇國內供應商，而非美國企業，如應用材料公司（Applied Materials, Inc.）、科林研發（Lam Research Corporation）和科磊（KLA Corporation）。

在關鍵領域的進展尤為顯著，例如蝕刻（etching）和薄膜沉積（thin-film deposition）等環節，國產設備的採用率已突破40%。這一成就得益於國內製造商如北方華創（Naura Technology Group）和中微半導體（Advanced Micro-Fabrication Equipment）的技術突破。

報導指出，中微半導體生產的5奈米級蝕刻機（5-nanometre-grade etching machine）已進入台積電（TSMC）先進製程線的驗證階段。北方華創提供的氧化爐（oxidation furnaces）和擴散爐（diffusion furnaces）在中國最大晶圓代工廠中芯國際（SMIC）28奈米生產線的使用率已超過60%，相關訂單更排到2027年第1季度。

此外，拓荊科技（Piotech）在長江存儲科技（Yangtze Memory Technology）的「3D NAND」生產線上，等離子增強化學氣相沉積設備（plasma-enhanced chemical vapour deposition equipment）的採用比例更成功翻倍，從15%提升至30%。

自美國自2022年對中國施加出口限制以來，中國一直致力於降低對進口半導體設備的依賴。新的半導體生產線開發者被明確要求，至少50%的設備必須由國內採購。

根據「半導體產業協會」（SEMI）的預測，中國將在2027年前保持全球最大半導體設備市場的地位，這得益於對傳統與先進製程節點的持續資本投入。中國投資者也正積極注資半導體設備的關鍵供應商。過去1年中，拓荊科技在上海的股價翻漲了150%，北方華創飆升75%，而中微半導體則飆漲85%。

中國政府透過中國集成電路產業投資基金（China Integrated Circuit Industry Investment Fund，俗稱「大基金」）提供融資支持，鼓勵國產晶片設備的研發。大基金第3期最近宣布向該領域投資20億元人民幣，重點針對蝕刻機和光刻系統核心元件的研發。

此外，大陸工業和信息化部（Ministry of Industry and Information Technology）也提供高達15%的採購補貼，鼓勵企業在晶圓製造生產線中採用國產設備。

中國的半導體設備自給自足之路正以驚人的速度前進，從政策支持到市場需求，再到資本推動，形成了完整的國產化生態鏈，為全球半導體產業格局帶來深遠影響。